白光干涉儀的測量應(yīng)用說明：

　　以測量單刻線臺階為例，在檢查儀器的各線路接頭都準(zhǔn)確插入對應(yīng)插孔后，開啟儀器電源開關(guān)，啟動計(jì)算機(jī)，將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置，先手動調(diào)整載物臺大概位置，對準(zhǔn)白光干涉儀目鏡的下方。

　　在計(jì)算機(jī)上打開光學(xué)3D表面輪廓儀測量軟件，在軟件界面上設(shè)置好目鏡下行的低點(diǎn)，再微調(diào)鏡頭與被測單刻線臺階表面的距離，調(diào)整到計(jì)算機(jī)屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳，此時設(shè)置好要掃描的距離。按開始按鈕，光學(xué)3D表面輪廓儀可自動進(jìn)行掃描測量，測量完成后，軟件自動生成3D圖像，測量人員可以對3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)分析，獲得被測器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數(shù)。

　　白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能全面、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高效率檢測。*的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。